> > > Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Навигация по сайту
Последние коментарии
Популярная литература

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Добавлено: 11-01-2014, 21:39
'Ионно-плазменные
Название: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Автор: Берлин Е.В., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2010
Страниц: 544
ISBN: 978-5-94836-222-9
Формат: PDF
Размер: 51.5 Мб
Язык: русский
Серия: Мир материалов и технологий


Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магметронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старщих курсов и аспирантов соответствующих специализаций.



Вернуться
  • Комментарий: 0
  • Просмотров: 58
Уважаемый читатель, Вы зашли в библиотеку как незарегистрированный читатель.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.


Добавить отзыв или комментарий
Имя:*
E-Mail:*
Введите два слова, показанных на изображении: *