> > > Получение тонкопленочных элементов микросхем
Навигация по сайту
Последние коментарии
Популярная литература

Получение тонкопленочных элементов микросхем

Добавлено: 29-06-2015, 21:36
'Получение
Автор: Данилин Б. С.
Название: Получение тонкопленочных элементов микросхем. Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Издательство: Энергия
Год: 1977
Страниц: 136
Формат: DJVU
Размер: 3,3 МБ
Качество: Отличное, 600дпи, цветные обложки и ч/б иллюстрации

В книге в краткой и доступной для читателя форме рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Описывается аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, и рассматриваются способы получения требуемой конфигурации тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Книга предназначена для работников радиотехнической и электронной промышленности, занимающихся проектированием и изготовлением радиоэлектронной аппаратуры с использованием тонкопленочной технологии.



Вернуться
  • Комментарий: 0
  • Просмотров: 172
Уважаемый читатель, Вы зашли в библиотеку как незарегистрированный читатель.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.


Добавить отзыв или комментарий
Имя:*
E-Mail:*
Введите два слова, показанных на изображении: *